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Laser Writer LW 405

Microtech Laser Writer (LW) é um sistema de litografia por laser usado para padronizar estruturas planas em uma máscara ou diretamente no substrato. Rápida fabricação de protótipos ou produções de baixo volume são aplicações típicas. A lista a seguir descreve as unidades que compõem o LW e suas funções.

- A unidade de gravação aloca o GaN ou Hélio 
-Laser de cádmio, sistema de microtranslation para o substrato, eletro-óptico componentes para modular o feixe de laser e regular a exposição energia.
- Estrutura com amortecimento de vibração é usada. 
- Gabinete: envolve a unidade de gravação, criando um ambiente protegido ao redor o LW, principalmente contra o rápido fluxo de ar da sala limpa, que pode induzir vibrações.
- Bomba de vácuo: segura firmemente o substrato no mandril durante a geração do padrão..
- Fonte de energia ininterrupta

ESPECIFICAÇÕES:

Equipamento compatível com máscara de 3 ”, 4” e 5 ”
- Laser de Diodo de Nitreto de Gálio (405 nm).
-A iluminação por uma fonte vermelha (= 640 nm)
- Área de escrita de até 4 ”X 4”.
- Resolução: 4 um para lente 5,10 um para a lente 4.
- Pacote de software: LaserDraw-2D
- Software de design: Clewin (formato .cif)