Espaço: Processamento - Equipamentos

Balzers Baltec BAE 250 

Deposição de filmes metálicos por evaporação térmica com resolução de 3 nm em espessura. Câmara de evaporação térmica convencional para aquecimento resistivo e evaporação de metais em um alvo. A evaporadora pode depositar apenas um metal durante um ciclo.

Características principais:
-Evaporação de vários metais (Au, Ag, Al, Bi, Cu, Cr, Ge, Mn, Ni, Pt, Ti ...) e isolantes (SiO, SiO2, AlOx). Processamento de junção em túnel por oxidação entre evaporações.
-Paredes da câmara aquecidas / resfriadas com circulação de água.
-O suporte da amostra pode ser girado.
-Espessura de deposição monitorada pelo Inficon Thickness Monitor.