Espaço: Processamento

O Espaço Processamento é voltado para micro e nano fabricação de dispositivos. Este espaço encontra-se quase todo em um ambiente de sala limpa que consta com 2 equipamentos de litografia a laser com resolução de até 1 µm (Laser Writer) e também um sistema de litografia por feixe de elétrons com resoução de 20 nm (Raith e-beam Plus).

Como possuimos um ambiente altamente controlado, todos usuários deste espaço são devidamente treinados pelos nossos técnicos para proporcionar à sua pesquisa uma boa qualidade e reprodutibilidade.

Além dos equipamentos citados e outros como microscópios óticos, sistemas de RIE,  (Reactive Ion Plasma), o espaço também é utilizado para manipulação de reagentes químicos em capelas com fluxo controlado. 

Todos equipamentos do Espaço Processamento você pode encontrar na lista aqui abaixo: