Espaço: Processamento - Equipamentos

O  KARL SUSS MJB 3  é equipado com uma lâmpada de 200W contendo um sistema óptico relativamente simples, mas comparativamente de alta resolução.  A fotoalinhadora dispões de uma lâmpada de mercúrio 200W. Os comprimentos de onda de exposição primária são 350-500nm. O alinhador executa exposições em modo de contato rígido (pressão de nitrogênio sob o substrato) e contato suave modo (vácuo sob o substrato). Como uma opção, o MJB 3 Standard também pode ser equipado para realizar exposições de proximidade. Resolução de linha / espaço de 1,5 mícron e alinhamento com precisões de 0,2 mícrons podem ser obtidas.