Espaço: Processamento - Equipamentos

A fotoalinhadora ML3 da Durham Magneto Optics corresponde a um equipamento de litografia óptica, capaz de realizar exposição de padrão (com alinhamento controlado) sem a necessidade de máscara física.
Características principais:
- Fonte luminosa de LED, com comprimento de onda de 405 nm;
- Área de escrita máxima: 149 mm x 149 mm;
- Objetivas/Resolução: x3 / 5 um, x10 / 1 um, x20 / 0.6 um;
- Interferômetro XY com resolução de 15 nm para controle de movimentos precisos;
- Velocidade de escrita: 17 mm²/min (resolução de 0.6 um), 50 mm²/min (resolução de 1 um) e 180 mm²/min (resolução de 5 um);
- Modo de exposição em escala de cinza (grayscale);
- Formatos de arquivo compatíveis: CIF, GDS2, BMP, TIFF, JPEG, PNG, GIF.