Espaço: Processamento - Equipamentos

O Dektak XT é um perfilômetro de ponta. Utiliza uma sonda com ponta de diamante que entra em contato direto com a amostra. O equipamento mantém uma força constante sobre a sonda conforme o estágio move a amostra sob a ponta da sonda, levantando a topografia do substrato em análise. É possível realizar a medição de alturas de degrau, dimensões laterais da amostra, além de medir a rugosidade da superfície (acima de ~15 Å). Ele também apresenta a capacidade de realizar testes de stress mecânico em filmes finos e mapeamento 3D.

Resolução vertical (@faixa de altura): 
 - 1 Å @ 6.5 um;
 - 10 Å @ 65.5 um;
 - 80 Å @ 524 um;
 - 150 Å @ 1 mm.

Sonda: 12.5 um de raio (diamante).

Força aplicada na sonda: 1 mg - 15 mg.

Comprimento de varredura: 50 um a 200 mm, com stitching automático (campos de varredura individuais de 55 mm).